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產品簡介
Sensofar LIN：入門級三維測量輪廓儀新選?Sensofar經濟型三維共聚焦白光干涉輪廓儀是一款集成了多種優良光學技術的高精度測量設備。其核心功能包括共聚焦、白光干涉和相位差干涉，能夠實現納米級精度的表面形貌測量。設備具備高分辨率、快速掃描和大范圍測量能力，適用于多種材質和結構的表面檢測。
產品分類
在三維表面形貌測量領域，Sensofar LIN系列白光干涉輪廓儀提供了一種經濟實用的入門選擇。該產品將白光干涉技術（VSI）與共聚焦技術相結合，旨在為尋求從二維測量邁向三維精細測量的用戶提供一個功能齊全、操作簡便的平臺。
產品細節上，LIN系列采用了模塊化設計。其核心是一套集成化的光學引擎，將光源、干涉物鏡、精密掃描系統和攝像頭整合于一體。這種設計有助于保持設備的穩定性和測量的重復性。設備外觀緊湊，能夠較好地融入實驗室或產線環境。
其性能特點在于提供了非接觸、無損的測量方式。白光干涉技術對光滑和輕微粗糙的表面有較好的適應性，能快速獲取表面的三維形貌信息。通過切換物鏡，用戶可以在測量范圍和分辨率之間取得平衡，以滿足不同應用場景的需求。
在材料適用性方面，LIN系列可用于測量多種表面的樣品，包括硅片、玻璃、金屬、塑料以及涂層等。例如，在半導體后段工藝中，可用于測量焊球的高度和共面性；在材料科學中，可用于分析薄膜表面的粗糙度。
以下是LIN系列某型號的示例參數（具體需以數據為準）：
技術原理: 白光干涉（VSI）與共聚焦
物鏡配置: 可選配多種倍率，如10x, 20x, 50x
垂直分辨率: 亞納米級
水平分辨率: 可達0.5 μm
掃描范圍（Z軸）: 數毫米
平臺: 手動或電動平臺可選
使用說明強調用戶友好性。Sensofar的SensoMAP軟件提供了直觀的圖形化界面，引導用戶完成從樣品對焦、參數設置到掃描測量的全過程。軟件內置了豐富的分析工具，可一鍵生成符合國際標準的二維、三維參數報告。
LIN系列的用途廣泛，適用于研發初期的材料表征、生產過程中的質量抽檢以及學術研究中的數據分析，是步入三維微觀測量領域的一個考慮方向。