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  • Sensofar白光干涉共聚焦顯微鏡
    Sensofar白光干涉共聚焦顯微鏡

    Sensofar白光干涉共聚焦顯微鏡,是一款多功能、多用途的3D光學(xué)輪廓儀,用于粗糙度、體積和臨界尺寸測(cè)量。3D白光干涉共聚焦顯微鏡S lynx2,是將高清晰度共聚焦顯微鏡、納米級(jí)白光干涉儀和多焦面疊...

  • Sensofar共聚焦白光干涉儀
    Sensofar共聚焦白光干涉儀

    全新設(shè)計(jì)的Sensofar共聚焦白光干涉儀 S neox區(qū)別于傳統(tǒng)白光干涉儀,將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融于一身,測(cè)量頭內(nèi)無運(yùn)動(dòng)部件。能夠測(cè)量不同的材質(zhì),結(jié)構(gòu),表面粗糙度和波度,幾乎涵蓋所有類型的...

  • 美國(guó)RMC超薄切片機(jī)PowerTome XL
    美國(guó)RMC超薄切片機(jī)PowerTome XL

    美國(guó)RMC超薄切片機(jī)PowerTome XL,包括常規(guī)主打型號(hào)PT-XL,和基于電腦控制升級(jí)的型號(hào)PT-PC,以及通過電腦控制和高清視頻附件將其升級(jí)到PT-PCZ研究級(jí)別的超薄切片系統(tǒng)。

  • 美國(guó)RMC半薄切片機(jī)MT990
    美國(guó)RMC半薄切片機(jī)MT990

    對(duì)于自動(dòng)切片,美國(guó)RMC半薄切片機(jī)MT990具有機(jī)動(dòng)、可編程的自動(dòng)切割功能,可提供可重復(fù)的、一致的切割速度。

  • Linkam THMS600冷熱臺(tái)
    Linkam THMS600冷熱臺(tái)

    Linkam THMS600冷熱臺(tái)是使用為廣泛的高精度冷熱臺(tái)。其寬泛的溫度范圍(-196°C到600°C)和升溫速率(0.1到150°C/min),以及高精度(全程0.1...

  • Linkam LTS420冷熱臺(tái)
    Linkam LTS420冷熱臺(tái)

    Linkam LTS420冷熱臺(tái)是可以使用顯微鏡載物片載樣,且容易使用的通用型冷熱臺(tái)。此系列冷熱臺(tái)為大區(qū)域冷熱臺(tái),主要用于等溫分析,不需要非常高的加熱和冷卻速率,溫度的熱穩(wěn)定性優(yōu)于0.1°C...

  • Sensofar 高精度3D表面測(cè)量系統(tǒng)S neox
    Sensofar 高精度3D表面測(cè)量系統(tǒng)S neox

    新型西班牙Sensofar 高精度3D表面測(cè)量系統(tǒng)S neox在性能、功能、效 率和設(shè)計(jì)方面優(yōu)于現(xiàn)有的三維共聚焦白光干涉儀,是Sensofar 的新一 代*測(cè)量系統(tǒng)。

  • Sensofar 5軸非接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x
    Sensofar 5軸非接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x

    此款西班牙Sensofar 5軸非接觸式粗糙度測(cè)量?jī)xS neox Five Axis結(jié)合了高精度旋轉(zhuǎn)模塊和S neox 3D光學(xué)輪廓儀的先進(jìn)檢測(cè)和分析功能在規(guī)定的位置上實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)地3D表面測(cè)量,并結(jié)合...

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  北京儀光科技,專注顯微形貌分析!  北京儀光科技有限公司是一家專門從事三維共聚焦白光干涉輪廓儀、臺(tái)式掃描電鏡/臺(tái)階儀/電鏡原位分析、各進(jìn)口及國(guó)產(chǎn)品牌的金相顯微鏡、體式顯微鏡、偏光顯微鏡、超景深顯微鏡、大型掃描電子顯微鏡、超薄切片機(jī)、清潔度分析儀、金相及巖相制樣設(shè)備、顯微相機(jī)、冷熱臺(tái)、陰極發(fā)光臺(tái)、光學(xué)平臺(tái)等各類型科研分析儀器。提供制樣、顯微觀察、三維形貌分析和特殊應(yīng)用檢測(cè)等全套分析檢測(cè)解決方案?! ∥宜敬砦靼嘌繱ensofar三維共聚焦白光干涉儀、德國(guó)徠卡等進(jìn)口及國(guó)產(chǎn)各類型光學(xué)顯微鏡、安徽澤攸臺(tái)式掃描電鏡&臺(tái)階儀&電鏡原位分析、美國(guó)RMC超薄切片機(jī)/半薄切片機(jī)、德國(guó)蔡司大型掃描電鏡、丹麥司特爾金相制樣、英國(guó)Linkam冷熱臺(tái)、陰極發(fā)光臺(tái)、防震平臺(tái)等材料制備及微觀分析儀器。我們的客戶涵蓋高校、科研院所、農(nóng)林、醫(yī)療、石油石化、地質(zhì)、文博、船舶、汽車、工業(yè)材料、電子半導(dǎo)體、電力、能源、檢測(cè)分析等各個(gè)行業(yè)。我們致力于以開放的視野、專業(yè)的技術(shù)、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)為科研和工業(yè)等用戶提供專業(yè)、全面的顯微形...
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    不斷提高技術(shù)水平和服務(wù)質(zhì)量,不斷完善營(yíng)銷網(wǎng)絡(luò),實(shí)施多元化的銷售方式,不斷追求讓客戶更加滿意。

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    原材料采購(gòu)嚴(yán)格把控,采用知名度較高、信譽(yù)較好、經(jīng)質(zhì)量檢測(cè)合格的原材料,嚴(yán)格質(zhì)檢層層把關(guān)。

  • 完善的服務(wù)體系

    在發(fā)展中求生存,在不斷完善自我中做大做強(qiáng),以良好信譽(yù)和科學(xué)的管理促進(jìn)企業(yè)迅速發(fā)展。

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白光干涉儀在半導(dǎo)體平面度測(cè)量中的應(yīng)用

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,芯片尺寸的逐漸縮小以及制造工藝的精細(xì)化,使得對(duì)材料和器件表面精度的要求越來越高。在半導(dǎo)體行業(yè),尤其是在集成電路(IC)和光刻工藝中,表面平整度(平面度)的測(cè)量變得尤為重要。傳統(tǒng)的平面度測(cè)量方法往往難以滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的高精度需求,而白光干涉儀因其非接觸...
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