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白光干涉儀S neox的校準與準確性

產品簡介

白光干涉儀S neox的校準與準確性:Sensofar S neox 3D光學輪廓儀通過系統化校準流程,確保XY尺寸、Z軸高度及干涉參考平等精確可溯,為科研與精密制造提供可靠、可復現的納米級測量數據。

產品型號:
更新時間:2025-11-14
廠商性質:代理商
訪問量:20
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白光干涉儀S neox的校準與準確性

在精密測量領域,測量結果的可靠性和可信度是首要考慮的因素。儀器的校準是確保測量數據準確、可追溯至國際標準的基石。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀提供了系統化的校準流程和工具,致力于保證在不同測量模式下獲得數據的一致性和準確性。

校準的本質是通過與已知標準進行比對,來標定測量系統的尺度。對于S neox這樣的三維光學測量系統,校準主要涉及幾個方面:XY平面的尺寸校準、Z軸的垂直距離校準,以及對于白光干涉模式至關重要的參考平面平整度校準。

S neox的軟件通常內置了清晰的校準向導,引導用戶逐步完成整個過程。對于XY校準,會使用具有標準刻度(如微米級光柵)的參考樣板。系統通過成像并分析該樣板,來精確校準每個物鏡的放大率,確保在水平方向上測量的尺寸與實際物理尺寸一致。
Z軸校準同樣關鍵。它會使用具有已知高度(如臺階高度標準片)的參考物。儀器通過掃描這個臺階,將測量得到的高度值與標準證書上的標稱值進行比對和校正,從而確保垂直方向測量的準確性。這個過程對于共聚焦和白光干涉模式都十分重要。
對于白光干涉模式,還有一個特殊的校準步驟:參考鏡平整度校準。由于干涉測量是將樣品表面與一個內部參考鏡進行比較,任何參考鏡本身或光學系統固有的微小誤差都會影響測量結果。因此,儀器會通過測量一個光學平晶(其表面平整度是已知的)來記錄系統固有的誤差圖。在后續測量中,軟件會自動從樣品測量結果中減去這個誤差圖,從而得到更能反映樣品真實形貌的數據。
這些校準工作并非一勞永逸。建議用戶根據使用頻率和環境穩定性,定期進行校準,以確保儀器持續處于良好的工作狀態。良好的校準實踐,使得不同時間、由不同操作者使用同一臺S neox獲得的數據可以相互比較,這對于長期的研究項目和生產過程的質量追蹤尤為重要。
此外,校準用的參考標準件本身需要可以溯源至國家或國際標準,從而建立起完整的量值溯源鏈。這意味著,用戶最終獲得的納米級高度測量結果,其可靠性是有據可依的。
因此,Sensofar S neox不僅提供了測量的能力,更通過一套完善的校準體系,為測量結果的準確性和可重復性提供了支持,這對于需要嚴謹數據的科研和精密制造領域而言,是一項基礎且重要的特性。

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