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白光干涉儀S neox應對復雜表面的策略

產品簡介

白光干涉儀S neox應對復雜表面的策略:在材料科學、生物醫學和精密制造等領域,樣品表面往往同時存在光滑與粗糙、高反光與吸光、平坦與陡坡等復雜特性,這對傳統單一測量技術提出了嚴峻挑戰。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀通過多技術融合與自適應硬件設計,為復雜表面測量提供了創新性的系統解決方案。

產品型號:
更新時間:2025-11-11
廠商性質:代理商
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白光干涉儀S neox應對復雜表面的策略

在材料科學、生物醫學、精密加工等領域,研究人員遇到的樣品表面通常并非理想的光滑平面。它們可能同時包含光滑與粗糙區域、高反光與吸光材質、平坦區域與高陡坡結構。這種表面的復雜性對單一測量技術提出了挑戰:共聚焦技術可能難以應對近垂直的陡坡,而傳統的白光干涉儀在粗糙表面容易失相干。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀通過其多技術融合和自適應硬件設計,展現出處理這類復雜表面的能力。

對于混合表面,最關鍵的是能夠為不同特性的區域選擇最合適的測量技術。S neox的集成平臺允許在一次測量序列中,針對同一視野內的不同區域,或通過移動平臺對不同視野,分別采用共聚焦和白光干涉模式進行測量。例如,對于一個經過拋光但帶有劃痕的金屬表面,用戶可以使用白光干涉模式來精確測量劃痕的深度和輪廓,同時利用該模式的高縱向分辨率評估拋光區域納米級的粗糙度。而對于表面上的某些吸光或多孔材料區域,則可能切換到共聚焦模式以獲得更清晰的形貌數據。
高反射表面是光學測量中的一個常見挑戰,容易產生鏡面反射,導致探測器飽和或引入雜散光干擾。S neox提供了光強自動調節功能,并可選配偏振器等附件來抑制過強的反射。其白光干涉模式本身對光強的穩定性要求較高,儀器內部的光路設計和控制有助于在寬泛的光強范圍內保持穩定的干涉信號,從而在保證測量精度的同時,適應從低反光到高反光的不同樣品。
對于具有高陡坡或近垂直側壁的樣品,如微孔、微柱陣列或切削刀具的刃口,測量難點在于獲取完整的側壁形貌信息。S neox通過使用高數值孔徑的物鏡來提升橫向分辨率和對陡坡的響應能力。此外,其共聚焦模式由于是基于點掃描,對陡峭特征的測量有一定幫助。更值得一提的是,軟件中的高級算法能夠對由于陡坡造成的陰影或數據丟失進行一定程度的補償和重建,從而提供更完整的三維形貌圖。
此外,對于透明薄膜或多層結構,光學測量需要克服光的折射效應帶來的測量誤差。S neox的軟件提供了針對透明材料的專用校正模塊,通過輸入材料的折射率等參數,可以對測量結果進行校正,從而更接近真實地表征其表面形貌或膜層厚度。

Sensofar S neox應對復雜表面的策略,體現了一種系統性的解決方案思維。它不依賴于單一技術的優化,而是通過提供一整套可靈活組合的測量技術、可調節的硬件參數和智能的數據處理算法,使用戶能夠根據具體的表面特性“調配"出測量方案。這種適應性使得它在面對各種非理想樣品時,能夠保持測量的有效性和數據的可靠性。

白光干涉儀S neox應對復雜表面的策略

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