Sensofar S neox共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀針對工業(yè)場景設(shè)計，機(jī)身采用防塵防水的IP54防護(hù)結(jié)構(gòu)，能抵御車間的粉塵與水汽侵蝕。航空級鋁合金框架重量適中，既方便設(shè)備布局，又能提供足夠剛性，減少生產(chǎn)環(huán)境中振動的影響。檢測平臺采用耐磨不銹鋼材質(zhì)，經(jīng)長期使用仍能保持平整度，搭配系統(tǒng) 3r clamping clamping 系統(tǒng)，可快速固定批量樣品，提升檢測效率。設(shè)備支持集成到生產(chǎn)線，通過自動化接口與工業(yè)控制系統(tǒng)聯(lián)動，實(shí)現(xiàn)檢測流程的無縫銜接。
工業(yè)檢測對效率要求較高，S neox 的掃描速度可達(dá)≤3mm/s，單次掃描時間低至 3 秒，五軸款更是能將圖像獲取時間縮短至 1.5 秒，適配批量檢測需求。共聚焦與白光干涉技術(shù)的快速切換，讓設(shè)備能應(yīng)對不同材質(zhì)樣品 —— 從塑料零件的粗糙度篩查到半導(dǎo)體晶圓的精密檢測均可覆蓋。
重復(fù)性是工業(yè)質(zhì)檢的關(guān)鍵，S neox 通過內(nèi)部校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的測量重復(fù)性，在汽車零部件檢測中，即便無氣浮隔振臺，也能完成 Ra=0.8μm 的精密模具測量。實(shí)時環(huán)境補(bǔ)償算法能抵消溫度波動與振動干擾，確保生產(chǎn)線環(huán)境下的數(shù)據(jù)可靠性。
基礎(chǔ)版 S neox 適合中小型企業(yè)的常規(guī)質(zhì)檢，如金屬表面劃痕檢測、橡膠制品紋理分析等，操作簡單且維護(hù)成本較低。進(jìn)階版搭載五軸旋轉(zhuǎn)臺與 AI 路徑規(guī)劃模塊，檢測效率提升 30%，常用于半導(dǎo)體金線高度檢測、光學(xué)鏡片鍍膜均勻性分析等精密場景。
S neox Grand Format 專為大尺寸樣品設(shè)計，600×600mm 的移動范圍能滿足半導(dǎo)體面板、印刷電路板的全表面檢測，且經(jīng)認(rèn)證符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，可直接輸出行業(yè)認(rèn)可的檢測報告。定制版可加裝高溫原位測量艙，用于航空發(fā)動機(jī)葉片氧化層厚度的在線檢測。
工業(yè)質(zhì)檢注重自動化與標(biāo)準(zhǔn)化，S neox 的 SensoSCAN 軟件提供 “自動化程序模塊"，可創(chuàng)建自定義質(zhì)檢流程，通過 recipe 工具命令設(shè)備在預(yù)設(shè)位置完成多次測量。“樣品陣列" 功能能將測量配方復(fù)制到多組樣品，只需定義一次即可批量執(zhí)行，大幅提升效率。
軟件支持 “合格 / 不合格" 公差對比，能自動判斷樣品是否符合標(biāo)準(zhǔn)，配合樣品識別與數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能，形成完整的質(zhì)檢數(shù)據(jù)鏈。用戶管理功能可設(shè)置不同操作權(quán)限，保障檢測流程的規(guī)范性。廠家提供 48 小時內(nèi)的現(xiàn)場安裝調(diào)試服務(wù)，確保設(shè)備快速投入生產(chǎn)使用。
Sensofar白光干涉輪廓儀適配工業(yè)檢測環(huán)境
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