Sensofar三維光學(xué)輪廓儀多技術(shù)融合測(cè)量平臺(tái)

Sensofar S neox 0.65X白光干涉儀不只是一臺(tái)單一功能的測(cè)量設(shè)備，它創(chuàng)新性地將多種光學(xué)測(cè)量技術(shù)融合在一個(gè)平臺(tái)。這種集成設(shè)計(jì)讓用戶無(wú)需更換硬件，就能根據(jù)樣品特性選擇適合的測(cè)量模式，大大提升了設(shè)備的適用性和工作效率。

白光干涉測(cè)量模式是這款設(shè)備的核心功能之一。該技術(shù)使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，達(dá)到納米級(jí)的高度分辨率。它基于白光短相干特性，分光鏡將光源分為參考光與測(cè)量光，反射后合并產(chǎn)生干涉條紋，系統(tǒng)通過(guò)垂直掃描捕捉信號(hào)重建形貌。

共聚焦模式則提供了較高的橫向分辨率。該技術(shù)可以用來(lái)測(cè)量各類樣品表面的形貌。當(dāng)需要測(cè)量局部斜率較大的表面時(shí)，共聚焦模式能夠保持測(cè)量的穩(wěn)定性。

Ai多焦面疊加模式專為測(cè)量非常粗糙的表面形貌而設(shè)計(jì)。該技術(shù)的亮點(diǎn)包括較快的掃描速度、較大的掃描范圍和支援斜率大的表面。此功能對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用。

這些測(cè)量模式之間的切換十分簡(jiǎn)便。用戶無(wú)需插拔任何硬件就可以在軟件內(nèi)自動(dòng)實(shí)現(xiàn)不同模式的切換，使客戶無(wú)需花費(fèi)高昂的費(fèi)用就能同時(shí)擁有多種測(cè)量設(shè)備的功能。

核心參數(shù)表

多技術(shù)的融合使S neox 0.65X能適應(yīng)多種表面類型的測(cè)量需求。Sensofar三維光學(xué)輪廓儀多技術(shù)融合測(cè)量平臺(tái)