澤攸ZEM20掃描顯微鏡使用說明與維護

澤攸?ZEM20 以緊湊結構、可靠真空系統、靈活的自動化功能以及完善的維護體系，能夠滿足材料科學、能源、生命科學等多領域的微觀表征需求。通過上述六篇技術文章，您可以快速了解其硬件構成、成像性能、材料工藝、操作要點、環境適配以及典型應用場景，為實驗室選型與日常使用提供系統參考。

• 首啟動

• 檢查 220?V 電源、接地電阻 <?2?Ω。

• 開機后系統自檢 20?s，待前級泵 5?Pa 后渦輪泵自動加速至 600?Hz。

• 燈絲預熱：電流階梯升至 1.0?A，保持 90?s，工作電流 0.75?A。

• 合軸與像散校正

• 裝入 100?×?銅網標樣，選擇 10?kV、20?pA。

• 使用 “wobbler" 觀察拉伸方向，調節 X/Y 掃描幅度最小化拉伸。

• 進入像散校正窗口，執行多步迭代，保存預設文件。

• 樣品交換

• 點擊 “Vent" 放氣，約 35?s 回到大氣壓。

• 打開腔蓋，裝入新樣品臺（高度 ≤?15?mm），關閉后點擊 “Pump"。

• 2.5?min 達到 <?1?×?10?3?Pa，完成后自動聚焦。

• 維護周期

• 3?個月：檢查前級泵油霧過濾器。

• 6?個月：用無絨布蘸乙醇擦拭腔壁，記錄真空曲線。

• 12?個月：備份軟件、校準高壓電源（差 <?0.5?%）。

• 燈絲壽命：≈?1500?h，系統彈窗提示后更換，換后重新執行合軸。

維護要點

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