光源與探測器： ZeGage Pro使用LED作為照明光源。LED光源具有壽命長、發熱量低、穩定性好的特點，有助于保證長期測量的重復性。探測器則是一臺高分辨率的CMOS相機，負責捕捉干涉條紋圖像。相機的像素數量決定了單次測量視野內的橫向數據點密度，影響著測量的橫向分辨能力。

物鏡與轉盤： 儀器配備了一個可自動切換的物鏡轉盤。用戶可以根據測量需求選擇不同放大倍率的物鏡，例如2.5x、5x、10x、20x等。低倍物鏡提供較大的視野，用于觀測整體形貌；高倍物鏡則提供較小的視野和更高的橫向分辨率，用于觀察表面細節。物鏡的接口為標準設計，具有良好的通用性。

樣品臺與機械結構： 樣品臺用于承載和定位樣品。ZeGage Pro可配置不同尺寸和承載能力的樣品臺。樣品臺在X、Y方向的移動通常由電機驅動，可以實現自動定位和多點測量。導軌和絲杠等機械部件采用了一定的工藝標準，以確保運動的平直度和定位的重復性。

集成式計算單元： 儀器內部集成了一臺工業計算機，負責控制硬件運行和進行初步的數據處理。這種一體化的設計簡化了外部連接，用戶只需通過一根網線將儀器與辦公電腦連接，即可進行遠程控制和數據傳輸，減少了外部電腦性能波動對測量系統可能產生的影響。