布魯克三維光學輪廓儀多場景適配解決方案

該設備以靈活性與擴展性著稱，適用于研發實驗室與工業生產線。其Z軸分辨率與放大倍率無關，確保不同視野下結果一致性。XY平臺行程150mm，支持大樣品或批量自動測量。樣品高度兼容≤100mm，反射率覆蓋0.05%至100%，從鏡面到粗糙表面均可穩定測量。操作模式支持手動/半自動切換：手動模式適配少量多批次樣品，半自動模式預設參數實現一鍵測量，提升檢測效率。防震設計與15-30℃工作溫度范圍，保障車間環境下的數據穩定性。臺階高度重復性<0.2% 1sigma，確保同批次樣品測量一致性，降低誤判風險。

機身采用輕量化合金框架，既保證結構強度又便于移動，適配電子車間有限空間。防塵蓋板可拆卸設計減少粉塵附著，延長光學系統壽命。光學鏡頭選用高透光率玻璃，經多層增透膜處理，有效降低不同材質表面反射光干擾。樣品臺彈性硅膠夾具在固定樣品的同時，避免金屬夾具對PCB線路或陶瓷外殼的劃傷。操作面板采用防水防油設計，應對車間油污、水漬濺落場景，延長設備使用壽命。基礎減震結構無需額外搭建專業平臺，降低企業投入成本，適配普通工作臺面。

在半導體領域，該設備用于測量硅晶圓薄膜厚度、光刻膠臺階高度及CMP后表面平整度，為工藝參數優化提供數據支持。精密制造行業通過其檢測刀具刃口磨損、注塑模具表面狀態，建立磨損檔案以預測部件壽命。材料科學研究中，科研人員利用其表征復合材料、金屬合金、高分子薄膜的表面特性，分析涂層均勻性與厚度變化。學術教育領域，直觀的操作界面與可視化功能使其成為表面計量學教學演示設備。設備支持多區域自動測量功能，用戶預設測量區域后，儀器可自動完成數據采集，提升復雜測量效率。

布魯克三維光學輪廓儀多場景適配解決方案