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ZYGO 3D光學輪廓儀用材優勢與結構設計ZYGO ZeGage Pro 3D光學輪廓儀在用材選擇與結構設計上深度聚焦“穩定、耐用、精準"三大核心目標，通過優質材料與成熟技術的結合，為各行業測量任務提供可靠支撐。
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ZYGO ZeGage Pro 3D光學輪廓儀在用材選擇與結構設計上深度聚焦“穩定、耐用、精準"三大核心目標，通過優質材料與成熟技術的結合，為各行業測量任務提供可靠支撐。
性能特點分析
ZeGage Pro的核心理念是“穩定、耐用、精準"。光學系統采用低色散玻璃與多層抗反射膜，減少光線色散與反射損耗；機械結構選用高強度鋁合金框架與不銹鋼臺面，兼具輕量化與高剛性，抵抗環境振動干擾。壓電掃描單元采用高性能陶瓷，實現納米級精準位移，長期使用性能衰減緩慢。設備支持手動或電動XY平臺，行程可選100mm×100mm或200mm×200mm，適配不同尺寸樣品。
應用場景舉例
在光學制造領域，ZeGage Pro可測量透鏡面型誤差、鍍膜表面質量；半導體行業中，可評估晶圓表面粗糙度、薄膜厚度；材料科學領域，可分析金屬、陶瓷的表面紋理與磨損情況。其非接觸式測量特性避免了對脆弱樣品的損傷，適用于科研機構與工業質檢場景
應用價值體現
在光學制造領域，低色散鏡片與穩定光源確保干涉信號質量，助力透鏡面型誤差、鍍膜表面變化等參數的精準測量；在半導體行業，高精度壓電掃描單元與不銹鋼臺面配合，可實現晶圓薄膜厚度、光刻膠圖形臺階高度的納米級測量；在材料科學領域，密封外殼設計與環境控制艙搭配，能將溫度波動控制在±0.5℃、濕度波動控制在±2%，為生物材料、光學晶體等對環境敏感的樣品提供穩定測量環境。
綜上，ZeGage Pro通過科學的用材選擇與合理的結構設計，在穩定性、耐用性與精準性上達成平衡，為科研與工業領域的表面形貌測量需求提供堅實保障。