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認識布魯克三維光學輪廓儀光學顯微鏡布魯克ContourX-500三維光學輪廓儀是一款用于表面形貌測量的非接觸式測量儀器。
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認識布魯克三維光學輪廓儀光學顯微鏡
布魯克ContourX-500三維光學輪廓儀是一款用于表面形貌測量的非接觸式測量儀器。它基于白光干涉技術，能夠對從超光滑到粗糙等多種表面進行三維形貌重建和定量分析。該儀器在研發、質量控制和失效分析等領域有廣泛的應用。
產品細節與用材：
ContourX-500的設計注重穩定性和易用性。其主體結構采用剛性金屬框架，內部光學元件被精密地固定在穩固的基座上，以減小環境振動和溫度波動對測量結果的干擾。儀器外殼由工程塑料和金屬構成，既保證了儀器的輕便性，也提供了必要的物理保護。樣品臺通常采用硬質陽極氧化鋁材質，兼具耐磨性和輕量化特點。標準載物臺尺寸適用于多種樣品，并可選配不同尺寸的載物臺以適應更大或特殊形狀的樣品。
產品性能與用途：
該儀器的核心性能在于其非接觸式測量能力，能夠在不損傷樣品表面的情況下，獲取高保真的三維表面數據。它適用于測量表面粗糙度、臺階高度、平面度、體積、表面積等多種參數。無論是半導體晶圓的膜厚測量，還是機械零件的磨損分析，或是光學元件的面型檢測，ContourX-500都能提供有價值的量化數據。
使用說明：
操作流程通常包括以下幾個步驟：首先，將樣品平穩放置在載物臺上；其次，通過內置的彩色攝像機進行快速對焦和觀測，選擇感興趣的測量區域；然后，設置合適的掃描參數，啟動自動測量序列；最后，利用儀器配套的分析軟件對獲取的三維數據進行可視化和量化分析。整個流程設計得較為直觀，旨在提升用戶的操作效率。
參數表概覽：
型號： ContourX-500
垂直測量范圍： 最高可達10mm（取決于物鏡）
垂直分辨率： 可達0.1nm
水平視野： 依賴于所選物鏡（例如，0.5倍物鏡視野可達約14mm x 14mm）
測量技術： 白光干涉垂直掃描（VSI）和相移干涉（PSI）
平臺尺寸： 標準配置200mm x 200mm
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