ZYGO ZeGage Pro 技術：多原理支撐測量方案

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ZYGO ZeGage Pro 技術：多原理支撐測量方案
ZeGage Pro 依托多種成熟光學測量技術，實現對不同表面特性樣品的精準檢測。其核心技術包括相移干涉（PSI）與動態干涉（DI），相移干涉技術通過控制參考鏡的微小位移，采集多幅具有不同相位差的干涉圖像，再通過算法提取樣品表面高度信息，適用于超光滑表面測量，縱向分辨率可達到 0.1nm

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更新時間：2025-10-23

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激光干涉儀

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ZYGO ZeGage Pro 技術：多原理支撐測量方案

ZeGage Pro 依托多種成熟光學測量技術，實現對不同表面特性樣品的精準檢測。其核心技術包括相移干涉（PSI）與動態干涉（DI），相移干涉技術通過控制參考鏡的微小位移，采集多幅具有不同相位差的干涉圖像，再通過算法提取樣品表面高度信息，適用于超光滑表面測量，縱向分辨率可達到 0.1nm；動態干涉技術則能在樣品輕微振動的環境下穩定工作，通過實時捕捉干涉條紋變化，消除振動對測量結果的影響，適配生產線上的在線檢測場景。

設備還集成了共聚焦成像技術，當測量粗糙表面樣品時，共聚焦技術可通過針孔濾波去除雜散光，清晰呈現樣品表面微觀結構，搭配軟件中的 “3D 重建" 功能，能生成直觀的三維形貌圖，幫助用戶更清晰地觀察樣品表面紋理、劃痕等細節。核心光學部件選用低色散光學玻璃，經過特殊的鍍膜處理，有效減少光線反射與折射損失，提升透光率，確保成像質量穩定。圖像傳感器采用高分辨率 CMOS 芯片，在 120 幀 / 秒的采集速度下，仍能保持 0.15μm 的橫向分辨率，可清晰捕捉樣品表面微小特征。

為適應不同環境，設備搭載了環境補償系統，能實時監測溫度、濕度變化，并自動調整測量參數，即使在溫度波動 ±2℃、濕度 40%-60% 的普通實驗室環境中，也能保證測量結果的一致性。此外，軟件內置的 “自動校準" 功能，定期提醒用戶進行系統校準，校準過程無需專業人員操作，按照提示步驟即可完成，進一步降低使用門檻。