要深入了解一款掃描電鏡，性能參數是重要的參考依據。澤攸ZEM20Pro臺式掃描電鏡在緊湊的機身內，整合了多項實用性能，滿足日常微觀觀測的多種需求。

成像分辨率是電鏡的核心指標。ZEM20Pro在高加速電壓下可實現30納米的分辨率，這意味著它能夠清晰呈現大多數微米及亞微米級別的精細結構，如材料表面的孔隙、裂紋、涂層均勻性，或生物樣品的表面特征。其放大倍數范圍從10倍到10萬倍連續可調，為用戶從宏觀定位到微觀聚焦提供了平滑過渡的觀察體驗。

電子光學系統是成像質量的基礎。ZEM20Pro采用三級電磁透鏡進行電子束匯聚，光路結構有助于獲得較小的束斑尺寸，從而提升圖像銳度。其真空系統采用分子泵與隔膜泵組合，能較快達到工作所需真空度，減少等待時間，提高工作效率。

在探測系統方面，設備標配的二次電子（SE）探測器用于獲取表面形貌襯度圖像，是觀察樣品凹凸起伏的主力；背散射電子（BSE）探測器則對原子序數差異敏感，可用于區分樣品表面上不同化學成分的區域，是進行初步成分分析的實用工具。

型號： ZEM20Pro

關鍵性能參數：

• 分辨率： 30 nm (30kV)

  
  

• 放大倍數： 10 - 100,000 x

  
  

• 加速電壓： 0.5, 1, 5, 10, 15, 20, 30 kV (多檔可選)

  
  

• 電子槍： 高亮度預對中鎢燈絲

  
  

• 探測器： 二次電子探測器、背散射電子探測器

  
  

這些性能配置使得ZEM20Pro能夠應用于多項任務：在電子行業中觀察PCB焊點缺陷、芯片結構；在材料領域分析合金相分布、斷口形貌；在地質研究中觀察礦物晶體形態；在生物領域觀察花粉、細胞、毛發等樣品的表面結構。使用時，根據樣品的導電性和耐電子束轟擊能力，選擇合適的加速電壓和探針電流是獲得理想圖像的關鍵。