技術亮點與性能突破

ZYGO白光干涉儀光學之力重塑工業檢測標準 ZYGO白光干涉儀突破傳統設備的局限性，采用動態相位鎖定技術與自適應光程補償算法，實現三大核心優勢：

• 超寬動態范圍：支持0.1nm-200μm的垂直測量跨度，無需切換設備即可檢測從原子級平整表面到微米級溝槽結構。

• 智能環境適應：內置溫度漂移補償模塊（精度±0.01℃/h）與SureScan™振動抑制技術，確保車間環境下的測量穩定性。

• 多模態分析：集成共聚焦顯微模塊與偏振干涉選項，可同步獲取表面形貌、膜層應力與晶體取向信息。

硬件配置與材料選型

• 光源系統：定制化白光LED陣列（色溫6500K），配合可調諧濾波器實現波長范圍400-1000nm連續調節。

• 探測器：1024×1024像素CMOS相機（幀率120fps），支持HDR模式下的高動態范圍成像。

• 運動控制：閉環直線電機驅動XY平臺（重復定位精度±0.1μm），搭配納米級壓電陶瓷Z軸（分辨率0.01nm）。

典型應用案例庫

操作流程簡化設計

1. 一鍵式校準：通過內置標準樣塊（臺階高度100nm±0.5nm）自動完成系統標定，耗時＜2分鐘。

2. 智能路徑規劃：Mx™軟件根據樣品尺寸自動生成掃描軌跡，避免重復測量與邊緣效應。

3. 云端數據管理：支持與ZYGO LABSUITE平臺無縫對接，實現測量數據實時上傳與多終端共享。

維護與售后服務體系

• 模塊化維護：光學頭、運動平臺等核心部件采用快速插拔設計，現場更換時間＜30分鐘。

• 預防性維護：通過IoT模塊遠程監控設備狀態，提前預警光源衰減、電機磨損等潛在故障。

• 全球服務網絡：在美國、中國、德國等30個國家設立技術中心，提供72小時內響應的現場支持服務。

型號擴展與定制能力

• ZeGage™系列：緊湊型設計（主機尺寸82×53×53cm），支持桌面化部署，適用于中小批量檢測場景。

• NewView™系列：分立龍門架構支持超大樣品檢測（最大高度300mm），標配5軸自動樣品臺，滿足半導體、光學行業的高精度需求。

• NexView™系列：集成True Color™彩色3D成像技術，可直觀呈現樣品表面紋理與缺陷分布，適用于消費電子、汽車行業的品質管控。

ZYGO白光干涉儀以“高適應性、易操作、低維護"為核心設計理念，幫助用戶將微納檢測從專業實驗室延伸至量產產線，為智能制造提供可靠的質量控制手段。其開放式的API接口更支持與SECS/GEM、MES系統集成，助力企業實現工業4.0轉型。ZYGO白光干涉儀光學之力重塑工業檢測標準