在微納尺度測量領域，高分辨率、非接觸式的表面形貌分析對質量控制與科研探索至關重要。Sensofar S neox作為一款多功能光學3D表面輪廓儀，融合多項*技術，為用戶提供靈活、高效的測量方案。Sensofar S neox多模式光學3D表面測量微觀

產品細節與設計

S neox采用模塊化光學設計，集成共聚焦顯微鏡（CL）、干涉顯微鏡（IM）和白光垂直掃描（PSI）三種測量模式，可針對不同樣品特性自動切換優良測量方式。其緊湊的機身與人性化操作界面，適用于實驗室與工業現場環境。

核心性能與特點

• •多模式智能切換：根據樣品反射率、粗糙度自動選擇CL/IM/PSI模式，實現納米至毫米級高精度測量。

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• •高分辨率成像：配備高數值孔徑物鏡，垂直分辨率達0.1 nm，橫向分辨率達0.3 μm。

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• •高效分析軟件：SensoMAP軟件支持實時3D建模、粗糙度分析（ISO 25178）、臺階高度測量及批量數據處理。

材質與關鍵參數

• •光學系統：多層鍍膜物鏡與低噪聲CMOS傳感器，確保信號穩定性。

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• •機械結構：高剛性鋁合金框架，內置主動隔振設計，減少環境干擾。

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• •環境適應性：工作溫度18-25℃，濕度<70%，支持潔凈室環境使用。

型號與典型應用

S neox系列包含基礎型與高速型（S neox Plus），適用于：

• •半導體：晶圓刻蝕深度、MEMS器件形貌分析

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• •精密光學：透鏡表面瑕疵檢測、鍍膜均勻性評估

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• •材料科學：涂層粗糙度、摩擦磨損研究

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• •物醫學：骨骼表面微結構表征

包裝與配件

標準包裝含主機、校準證書、防塵罩、工具套裝及USB。可選配電動旋轉臺、溫控樣品臺或防振平臺，滿足特殊需求。

使用流程說明

1.校準：開機后使用標準臺階樣塊進行Z軸校準。

2.測量：放置樣品，軟件自動推薦測量模式或手動選擇。

3.分析：一鍵生成高度圖、截面輪廓或統計參數報告。

售后服務支持

• •質保政策：核心光學部件24個月保修，終身有償維護。

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• •技術支持：遠程診斷+現場培訓，提供年度校準服務。

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• •軟件升級：定期推送新算法與兼容性更新。

結語

Sensofar S neox通過多技術融合與智能化操作，為微納制造與科研創新提供可靠數據支撐。如需技術演示或定制方案，歡迎聯系當地授權服務商。Sensofar S neox多模式光學3D表面測量微觀