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HP1000V-MPS 真空高溫探針臺 INSTEC冷熱臺

產品簡介

HP1000V-MPS 真空高溫探針臺 INSTEC冷熱臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。

產品型號：

更新時間：2025-04-29

廠商性質：代理商

訪問量：66

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

冷熱臺

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HP1000V-MPS 真空高溫探針臺 INSTEC冷熱臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。

功能特點

mimi 型溫控探針臺，可集成到各種光學設備

可編程控溫，涵蓋 RT~1000℃

適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件

可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用

獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件 SDK

模塊化設計，可自由組合

*可升級為 8 個獨立探針

*SMA 接頭轉 BNC 四探針，手動點針 *可選三同軸接口，用于 pA 級測試

*可做定制或改動，詳詢上海恒商

溫控參數

溫度范圍 30℃~1000℃

加熱塊材質陶瓷

傳感器/溫控方式 S / PID 控制（含 LVDC 降噪電源）

最大升溫速率 50℃/min

最小溫控速度 ±0.1℃/min

溫度分辨率 0.1℃

溫度穩定性 ±0.5℃

軟件功能可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線

電學參數

探針默認為錸鎢材質的彎針探針

探針座可從外部 XYZ 移動的探針臂

點針從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區上任意位置

探針接口默認為 SMA 接頭轉 BNC *可增設腔內接線柱（樣品接電引線）

樣品臺面電位默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

光學參數

適用光路反射光路

窗片可拆卸與更替的窗片

最小物鏡工作距離 8/12 mm （可選） *截面圖中 WD

上蓋窗片觀察窗片范圍φ45mm，最大視角±58° *截面圖中θ1

負溫下窗片除霜吹氣除霜管路

結構參數

適用樣品 25 mm*25mm

樣品腔高 4/8 mm （可選）

探針座可從外部 XYZ 移動的探針臂粗調模式+微調模式，XY 粗調 20mm XY 微調行程 10mm,Z 微調 3mm

調節精度 10um

氣氛控制真空腔，也可充入保護氣體

外殼冷卻可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近

臺體尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm / 5kg

配置列表

基本配置真空型臺式探針臺、mK2000B 溫控器

可選配件安裝支架、液氮制冷系統、外殼循環水冷系統、顯微鏡頭、防震桌、真空系統、測試源表、三同軸 BNC、臺面電懸空、樣品接電引線

以上是HP1000V-MPS 真空高溫探針臺 INSTEC冷熱臺的詳細介紹

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